超濾膜(英文縮寫為UF)又稱為中空纖維超濾膜。孔徑介于反滲透和微濾之間，約0.01～0.1μm，常用作純水系統的后處理裝置，可用于截留溶液中各種微粒、大分子溶質、細菌、病毒、熱原等。超濾膜的孔徑是由一定分子量的物質進行截留試驗測定的，并以分子量的數值來表示，能夠濾除熱原的超濾膜的分子量通常為5000道爾頓（Dalton）。
UPT-Ⅲ和UPH型超純水機設有系統自動沖洗功能，系統定期自動沖洗UF膜30秒，確保濾膜不被堵塞。
     終端微濾器單元即終端絕對過濾器(置于超純水系統的最終出水處)，實際是孔徑0.22μm的微孔濾膜過濾器，用于濾除超純水中殘留的樹脂碎屑和微生物。